石英坩堝是什么?石英坩堝如何使用?
石英坩堝,具有高純度、耐溫性強、尺寸大精度高、保溫性好、節(jié)約能源、質(zhì)量穩(wěn)定等優(yōu)點,應用越來越廣泛。石英坩堝的檢測工作是一個十分重要的環(huán)節(jié),而且石英坩堝的檢測朝向現(xiàn)場檢測方向發(fā)展!
1.石英坩堝可在1450度以下使用,分透明和不透明兩種。用電弧法制的半透明石英坩堝是拉制大直徑單晶硅,發(fā)展大規(guī)模集成電路必不可少的基礎材料。
當今, 世界半導體工業(yè)發(fā)達國家已用此坩堝取代了小的透明石英坩堝。他具有高純度、耐溫性強、尺寸大精度高、保溫性好、節(jié)約能源、質(zhì)量穩(wěn)定等優(yōu)點。>>臺式電導率儀報價?臺式電導率儀怎么使用?
2、不能和HF接觸,高溫時,極易和苛性堿及堿金屬的碳酸鹽作用。
3.石英坩堝適于用K2S2O7,KHSO4作熔劑熔融樣品和用Na2S207(先在212度烘干)作熔劑處理樣品。
4.石英質(zhì)脆,易破,使用時要注意。
5.除HF外,普通稀無機酸可用作清洗液。國內(nèi)常用拉制單晶硅用石英坩堝18英寸和20英寸22英寸也有廠家使用22及以上的坩堝。目前國內(nèi)坩堝生產(chǎn)大廠家生產(chǎn)的坩堝技術都比較成熟。其生產(chǎn)使用原料石英砂由美國進口和挪威高純石英砂兩種。也有小廠使用國產(chǎn)料其原料生產(chǎn)的石英坩堝對拉制單晶硅時其穩(wěn)定性都有一定影響。石英坩堝是什么?石英坩堝如何使用?
石英坩堝是什么?石英坩堝如何使用? 原輔材料
主要原料:高純石英砂
主要指標:(單位:ppm)
元素名稱AlFeCaMgTiNiMnCuLiNaKCoB
含量11.60.30.50.51.00.010.050.010.70.430.420.030.04
1、輔料:①石墨電極采用φ76mm粗高純電極棒
灰份:<80PPm————假比重:1.6g/cm
比電阻:<15×10Ω.cm————抗彎強度:>1.47×10Pa
②石墨模具————灰份:<200PPm
假比重:16g/cm————抗彎強度:>1.67×10Pa
③大尺寸石英遮熱板
純度:Al<200 Na<30 Li<30————Fe<30 K<30
石英坩堝是什么?石英坩堝如何使用?石英坩堝的使用及維護:
石英坩堝主要化學成分是二氧化硅,除氫氟酸外不與其它酸作用,易與苛性堿及堿金屬碳酸鹽作用。石英坩堝對熱的穩(wěn)定性很好,可直接放在火焰上加熱;石英坩堝和玻璃器皿一樣,容易破碎,使用時要特別小心,用石英坩堝可以用硫酸氫鉀(鈉),硫代硫酸鈉(在212攝氏度烘干)等作為熔劑,熔融溫度不許超過800攝氏度。
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