真空電阻爐分類
真空電阻爐由于結構上的特點,多數都做成間歇作業式,只有在個別情況下,才有可能做成連續作業式的。
真空電阻爐按工作真空度的不同,可以分做低真空(1~1x10-1毫米水銀柱)、中度真空(1x10-1-~1x10-4毫米水銀柱)和高真空(1x10-4-~1x10-6毫米水銀柱)三類。也有少數特殊用途的電阻爐做成超高真空(1x10-6毫米水銀柱以上)的。
按工作溫度來分,真空電阻爐和一般電阻爐一樣,可以分做低溫(700℃以下)、中溫(700~1250℃)和高溫(1250℃以上到3000℃)三類。
電爐的真空系統有很多種。低真空電阻爐一般只用機械真空泵抽氣;中度真空電阻爐則用油增壓泵或機械增壓泵(羅茨泵)和機械真空泵串聯抽氣;而高真空電阻爐則用高真空擴散泵和機械真空泵,有時在兩者之間再加上增壓泵串聯抽氣。超高真空爐則還用離子泵、鈦泵等。
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