西安實(shí)驗(yàn)耗材之四氟化碳采購(gòu)，四氟化碳化學(xué)物理性質(zhì)及應(yīng)用：

四氟化碳(Carbon tetrafluoride),分子式是CF4,亦稱全氟化碳

四氟化碳的化學(xué)性質(zhì)：

西安實(shí)驗(yàn)耗材之四氟化碳采購(gòu)，相對(duì)分子量88.00。在常溫下，四氟化碳是無(wú)色、無(wú)臭、不燃的易壓縮性氣體，揮發(fā)性較高，是最穩(wěn)定的有機(jī)化合物之一，不易溶于水。在900℃時(shí)，不與銅、鎳、鎢、鉬反應(yīng)，僅在碳弧溫度下緩慢分解，微溶于水，在25℃及0.1Mpa下其溶解度為0.0015%(重量比)，然而與可燃性氣體燃燒時(shí)，會(huì)分解產(chǎn)生有毒氟化物。

四氟化碳的物理性質(zhì)：

熔點(diǎn)-183.6℃，

沸點(diǎn)-128.1℃，

液體密度(-130℃)1.613g/cm3，

液體折光率(-173℃)1.515，

固體轉(zhuǎn)變點(diǎn)72.2K，

臨界溫度-45.67℃，

臨界壓力3.73MPa，

臨界密度7.1dm3/mol，

標(biāo)準(zhǔn)摩爾生成焓-932.31 kJ/mol，

標(biāo)準(zhǔn)摩爾生成熵261.04J/(mol﹒K)，

標(biāo)準(zhǔn)摩爾自由能-929.84 kJ/mol，

標(biāo)準(zhǔn)摩爾生成自由能-887.41 kJ/mol。

市場(chǎng)價(jià)格：

約260元/千克

四氟化碳的應(yīng)用：

西安實(shí)驗(yàn)耗材之四氟化碳采購(gòu)，四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體，其高純氣及四氟化碳高純氣配高純氧氣的混合體，可廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢薄膜材料的蝕刻。對(duì)于硅和二氧化硅體系，采用CF4-H2反應(yīng)離子刻蝕時(shí)，通過(guò)調(diào)節(jié)兩種氣體的比例，可以獲得45：1的選擇性，這在刻蝕多晶硅柵極上的二氧化硅薄膜時(shí)很有用。

在電子器件表面清洗、太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗(yàn)劑、控制宇宙火箭姿態(tài)、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。

由于化學(xué)穩(wěn)定性極強(qiáng)，CF4還可以用于金屬冶煉和塑料行業(yè)等。

西安實(shí)驗(yàn)耗材四氟化碳的溶氧性很好，因此被科學(xué)家用于超深度潛水實(shí)驗(yàn)代替普通壓縮空氣。目前已在老鼠身上獲得成功，在275米到366米的深度內(nèi)，小白鼠仍可安全脫險(xiǎn)。

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