激光共聚焦顯微鏡、掃描電鏡、原子力顯微鏡三者簡要區別和系統關聯最新進展

激光共聚焦顯微鏡，掃描電鏡，原子力顯微鏡是目前科研領域用的比較多的成像系統。近年來，隨著技術的不斷發展，各種系統關聯應用成為一個趨勢，本文簡單整理一下各種顯微鏡的區別及關聯進展情況。

一、極限分辨率不同, 緣于放大信號源的差異

  原子力顯微鏡：極限分辨率0.1nm，采用杠桿放大激光測距成像！掃描針尖的曲率半徑決定分辨率。

二、掃描驅動方式不同

  原子力顯微鏡：計算機控制的壓電位移傳感器驅動樣品臺X,Y 方向掃描，實現掃描范圍和掃描速度調控，從而改變放大倍數和圖像質量。

三、立體成像的差別

  原子力顯微鏡：成像的本質就是測量表面每個像素點的高低，描繪出立體形貌。所以每個像素Z方向的數據必須是精確的，否則形貌不準確。傳統采用管式驅動器，X/Y方向搖擺掃描，造成圖像失真，再現性差。最新的采用獨立X、Y掃描驅動器，形貌精確。

四、工作環境差別

  一般掃描電鏡必須在高真空環境下進行測試樣品

五、應用范圍差別

    原子力顯微鏡：幾萬倍~幾千萬倍， 要求樣品非常平坦，樣品制備很難。例如A4紙過于粗糙，      無法觀測。